最大测量速度: 8mm/s

最大测量加速度: 各轴加速度980mm/s2(38.58"/s2) (三轴移动时最大合成加速度1697mm/s2(66.81"/s2))

工件 最大高度: 545mm

最大重量:　　 180kg

质量：　　　 515kg

气压：　　　 0.4Mpa

空气消耗量： 50升/分(在正常条件下)或1.8CFM

温度范围：　16至26℃ 

温度漂移：　每小时 　2.0k

　　　　　　每24小时 5.0k

温度梯度：　垂直方向 1.0k/m

　　　　　　水平方向 1.0k/m